반도체 - 전공정 장비 관련주 테마주 소개

✔ 전공정 장비, 노광-증착-식각 공정에 필요한 장비
✔ 전방 업체의 시설투자 계획과 실적 연관
✔ '23년 글로벌 반도체 장비투자, 전년비 20% 감소 전망

    

테마소개

반도체 제조는 크게 전공정과 후공정으로 나뉘며, 전공정은 노광(Photo) - 증착(Deposition) - 식각(Etching)의 과정을 거침. 반도체 전공정은 고도의 화학공정을 거치기 때문에 높은 기술력이 필요한 고부가가치 산업.

노광공정은 웨이퍼에 감광액을 도포해 노광장비로 빛을 가해 회로 패턴을 새기는 것을 의미(회로)하며, 증착공정은 물리적·화학적 방법을 통해서 웨이퍼에 전기적 특성을 갖는 분자 또는 원자단위의 물질을 입히는 것을 뜻함(박막). 식각공정은 플라스마 상태에서 특수한 가스를 주입해 불필요한 회로 부분을 선택적으로 제거하고 세정하는 것(세정).

반도체 전공정 장비는 제조 공정(노광 - 증착 - 식각)에 필요한 장비를 의미. 반도체 전공정 장비 업체의 실적은 반도체 제조사의 투자 계획에 따라 전공정 장비 발주가 이어져 밀접한 연관. 이에 산업 특성상 발주가 반도체 호황기에 집중되고 하향국면에서는 급감하는 특성.

2022년 글로벌 경기 악화에 따른 수요 둔화에 설비투자 계획을 축소하는 기업들이 증가. 시장 수요가 위축돼 재고가 쌓이면 공급량 조절을 위해 설비투자액과 가동률을 낮추기 때문.

실제로 TSMC는 '22년 CAPEX(자본적 지출) 규모를 400~440억달러로 계획했지만, 360억 달러로 하향 조정. 마이크론과 SK 하이닉스도 기존 예상보다는 투자 규모를 줄일 전망.

2023년 글로벌 반도체 총 투자 규모는 전년대비 15% 감소, 반도체 장비 투자규모는 20%가량 감소할 것으로 전망(출처: 유진투자증권). 대만 시장조사업체 트렌드포스 역시 '23년 D램과 낸드의 Capex가 전년대비 두 자릿수 가량 줄어들 것으로 전망.

한편, 일본 경제산업성이 반도체 공정에서 빛을 인식하는 감광재인 '포토레지스트', 반도체 회로 식각에 사용하는 '불화수소', 디스플레이 공정에서 OLED 제조에 사용되는 '플루오린 폴리이미드'에 대해 수출 절차 강화(2019.07.04). 이 제품들은 반도체 필수 생산 소재인 동시에 일본 수입 의존도가 높음. 이에 반도체 소재·부품·장비 국산화가 가능한 업체들이 주목을 받는 경향.

정부는 수출규제 대응을 위해 '소부장(소재·부품·장비) 2.0 전략' 발표. 글로벌 공급망(Global value chain, GVC) 구축과 기술력을 강화하기 위한 목적. 2022년까지 차세대 전략 기술 개발에 5조 원을 투입, 공급망 관리 품목 대상 100대 품목에서 338개로 3배 이상 확대할 계획(2020.07.08).

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관련주 소개

에프에스티

반도체 온도조절장비(칠러) 제조사.

• 2001년 7월 31일자로 상호를 화인반도체기술에서 에프에스티로 변경함. 동사는 2000년 1월 18일에 코스닥시장에 등록됨. 동사는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체임. 경기도 오산시에 펠리클(Pellicle) 제조설비, 경기도 화성시에 칠러(Chiller)장비 제조설비를 두고 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 1% 감소, 영업이익은 73.3% 감소, 당기순이익은 77.5% 감소. 전년동기대비 경상연구개발비, 수출제비용, 인건비 등이 크게 증가함에 따라 영업이익 또한 크게 감소함. 국내반도체 업체들이 비메모리 부문을 확충하고 있고  대만, 미국, 일본 등 비메모리 반도체 선진국으로부터 공급의뢰를 받고 있어 향후 매출 증대를 기대중.

 

원익 IPS

반도체 증착(Deposition)·식각(Etching) 공정 메인장비 제조사.

• 인적분할로 설립된 신설회사로 2016년 5월 재상장, 분할 전 회사인 원익홀딩스가 영위하던 사업 중 반도체, Display 및 Solar 장비의 제조사업부문을 담당. 2019년 2월 원익테라세미콘 합병으로 국내 대형 장비 기업으로 도약함. 매출구성은 제품(반도체/Display/Solar Cell 제조 장비) 90%, 기타(장비 및 장치 유지보수에 필요한 부품, 기술용역 등) 10%로 이루어져 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 34.8% 감소, 영업이익은 62.6% 감소, 당기순이익은 40.3% 감소. 전방 산업인 반도체의 재고 증가 및 업황 부진으로 인해서 고객사 투자 및 장비 입고가 늦춰짐. 이에 따라 실적이 감소함. 평택 진위 3 산업단지에 부지면적 2만 2520㎡규모의 신사옥 준공. CAPA 2배 이상 증가 예정. 삼성전자의 평택 신규 주자로 실적 회복 예정임.

피에스케이

특수목적용 기계 제조업체로 분할 전 피에스케이㈜의 반도체 전공정(반도체칩 제조) 장비 사업부문이 인적분할해 신설된 법인. 반도체 전공정 장비인 Dry Stip, Dry Cleaning 등을 판매 중.

• 동사는 피에스케이홀딩스에서 전공정 장비 부분만 독립하여 설립된 반도체 장비 회사로 PR Strip 장비 글로벌 1위 기업임. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 글로벌 업체들을 고객사로 확보하고 있으며, 램리서치(미국), Mattson Tech(중국), 히타치(일본) 등과 경쟁함. 매출구성은 반도체 공정장비류 외 70.68%, 기타 29.32%로 이루어져 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 14.9% 증가, 영업이익은 14.2% 증가, 당기순이익은 15.9% 증가. 이전에 원가처리해 놓았던 장비들의 매출을 이번 분기에 인식하면서 영업이익 상승. 산업 내 제품 재고 증가폭도 줄어들며 향후 기대 상향. 국내 케파는 줄어들었으나, 대만 미국 등에서 메모리, 파운더리 투자가 예상을 크게 상회함. 평택 P3가 재개되면서 실적 회복 예상.

유진테크

반도체 증착장비(CVD) 제조사.

• 동사는 반도체 박막을 형성하는 전공정 프로세스 장비를 개발, 생산하는 반도체 전공정 장비 업체로서 2006년 코스닥시장에 상장함. 반도체용 산업가스 충전, 제조 정제 및 판매를 사업으로 하는 유진테크머티리얼즈를 종속회사로 두고 있음. 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론 등 유수의 글로벌 반도체 회사들과 제조장비 공급계약을 체결함. 매출 구성은 LPCVD 장비 외 91.7%, 상품 및 기타 6.2% 등으로 이루어짐.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 2.1% 증가, 영업이익은 18.9% 감소, 당기순이익은 20.8% 감소. 국내 고객사 설비 투자 확대에 따라 매출이 증가했으며, 특히 주력 제품인 LPCVD 장비 부문이 큰 폭으로 증가. 원가율 상승과 인건비 상승은 계속되고 있음. 반도체 공정 미세화, 고도화가 진행되면서 반도체 소재에 대한 수요가 증가하고 있어 동사의 동반 성장이 기대됨.

파크시스템스

반도체 공정개발용 원자현미경 제조사.

• 동사는 1997년 설립되어 2015년에 코스닥시장에 상장한 나노계측장비(원자현미경) 전문 기업임. 해외 수출을 확대하기 위하여 미국 캘리포니아, 일본 도쿄 및 싱가포르 현지 판매 법인을 자회사로 운영하며 해외 영업활동을 강화하고 있음. 원자현미경은 소재, 화학, 제약, 생명공학, 전자, 반도체 등 여러 산업분야에 걸쳐 나노 과학기술 연구에 광범위하게 활용도가 높아지고 있는 추세임.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 45.1% 증가, 영업이익은 176% 증가, 당기순이익은 345.9% 증가. 동사는 높은 기술 경쟁력과 제품 경쟁력을 통해 기존 연구용 원자현미경 시장뿐만 아니라 고부가가치의 산업용 원자현미경 시장의 진출을 확대 중임. 2020년 상빈기 IMEC과 2차 JDP를 체결하며 향후 3년간 반도체 분야에서의 다양한 과제를 AFM 기술을 통해 해결하는데 초점을 맞추고 있음.

유니셈

반도체 증착·식각공정 장비(가스제거장비) 제조사.

• 1996년 2월 15일 설립. 1999년 4월 최초로 벤처기업인증(재인증받음)을 받았고, 동년 12월 증권업협회에 코스닥등록함. 반도체 장비인 스크러버 국내 최초개발 업체로서, 우수한 연구인력 및 기술력을 확보하여 반도체 장비, LCD장비, LED장비, 태양광 장비 등을 제작, 판매 및 A/S를 제공하고 있음. 동사의 부문별 매출 비중은 스크러버가 약 35%, 칠러가 약 32%, 유지보수 외 기타 사업이 약 33%로 구성됨.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 16% 감소, 영업이익은 39.3% 감소, 당기순이익은 40.3% 감소. 매출액 감소에도 판관비 증가함에 따라 영업이익 및 당기순이익이 감소함. 신규 사업부문인 IoT사업부는 AI 기반의 비전인식 기술과 첨단 IoT 기술을 바탕으로 많은 사람들에게 안전함과 편안함을 제공하기 위해 스마트시큐리티, 스마트물류, 스마트트래픽분야에서 시스템과 서비스를 제공 중.

넥스틴

전공정 내 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비인 전자선·검사 장비 생산·판매.

• 동사는 전공정(Front-end Process) 반도체 소자의 회로 제작 공정에서 발생하는 미소 패턴 결함을 검출하는 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사 장비를 제조 및 판매함. 동사가 제조하는 검사장비는 미소 패턴 결함(Pattern Defect)과 이물(Particle)을 광학 이미지 비교방식으로 검출하는 장비임. 광학 검사 장비는 대기압 하에서 이미지 촬상을 진행하기 때문에 검사 속도가 전자선 검사 장비에 비하여 매우 빠름.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 116.5% 증가, 영업이익은 186% 증가, 당기순이익은 191.3% 증가. 동사는 세계에서 유일하게 2차원 이미징 기술에 기반한 장비를 개발하였고 이는 세계 최고의 기술력을 가진 KLA사 장비와 동등한 성능을 가짐. 기존 공장 외 신규 클린룸을 구축하며 기존 캐파의 2배로 중국향 물량에 대응할 수 있을 것으로 보여 수주와 실적 증가가 기대됨.

제우스

반도체 증착·식각공정 장비(세정장비) 제조사.

• 1970년에 설립된 동사는 반도체 제조 장비, TFT-LCD 인라인 트랜스퍼 시스템 및 태양전지 제조장비, 밸브시스템 등을 생산하고 있음. 반도체 제조장비 사업부문에서는 반도체 제조공정 및 일반 산업체 박막 공정에 주로 사용되는 Cryo Pump를 취급하며 국내 모든 Cryo Pump는 동사에서 유지 보수하고 세계시장 1위임. 22년 9월 말 현재 연결대상 종속회사는 쓰리젯, 솔브리지, J.E.T.(일본) 등 국내외 13개사임.
• 3분기에는 성공적으로 신제품 개발을 마무리하고 일부 지연됐던 반도체 장비 납품이 정상적으로 이뤄졌으며, 디스플레이 생산 장비용 로봇과 공정 장비 등 전 사업 부문의 매출이 크게 늘었음. 현재 수주잔고는 4,955억 원으로 앞으로 실적 전망도 긍정적임. 또한 반도체 장비 국산화를 추진하고 있으며, 반도체 부문 신제품도 단계적 결실을 맺고 있음. 자체 개발한 산업용 로봇의 지속적인 수요 증가도 기대됨.

오로스테크놀로지

반도체 웨이퍼 회로패턴 정렬 상태를 측정하는 오버레이(Overlay) 계측 장비 제조사.

• 동사는 반도체 Wafer의 MI(Overlay Metrology, Inspection) 장비 제조를 주력 사업으로 영위. 2011년 국내 최초로 Overlay 계측 장비 국산화에 성공하였고, 이후 High Performance AF System 등 핵심 기술들을 꾸준히 개발하고 있음. 현재 3대 반도체 계측 장비 부문 중 하나인 Thin Film Metrology 장비 개발을 통해 MI 장비 분야 전문성 제고를 위해 노력 중.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 35.5% 감소, 영업이익 적자전환, 당기순이익 적자전환. 동사의 당분기 매출액 감소 및 영업이익, 순이익 적자 전환은 장비매출의 감소로 인함. 미래사업에 대해 적극적인 투자로 이익 감소함. 현재 반도체 제조공정에서 증착되는 박막(ThinFilm)의 두께를 Angstrom단위(원자크기의 수십 분의 일)의 정밀도까지 측정할 수 있는 초정밀 계측장치를 신규 개발 중.

코미코

반도체 세정·코팅 장비 제조사.

• 동사는 2013년 8월 코미코의 정밀세정, 특수코팅 사업부문의 독립성과 전문성을 극대화하기 위하여 물적분할을 통해 신설된 회사임. 동사의 사업부문은 경기에 민감하지 않고, 고객사의 사업이 지속되는 한 반드시 필요한 사업이며, 원가절감 필요성이 대두될 경우 신규 부품에 대한 대체재로서 수요가 늘어나는 경향. 매출구성은 코팅(제품) 56.6%, 세정(제품) 34%, 부품(상품) 4.2%, 부품(제품) 4.2% 등으로 이루어져 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 13.7% 증가, 영업이익은 7.6% 증가, 당기순이익은 8.7% 증가. 전년 동기 대비 소폭 증가한 매출액과 영업이익을 유지하며 지속적인 성장세를 보임. 반도체 시장 업황 개선에 따른 수요 증대가 예상됨. 파운드리 업체의 증설을 통한 가동률 상승과 설비투자 확대로 인해 세정 및 코팅의 수요가 지속적으로 증가할 전망.

와이아이케이

반도체 웨이퍼 검사 장비 제조사.

• 1991년 4월 설립되어, 고속 메모리테스터 검사장비 제조 공급업체로서, 주요 제품으로는 메모리 웨이퍼 테스터 등이 있음. 주요 제품인 반도체용 웨이퍼 테스터는 칩의 불량 정보를 정확히 취득하고 분석하는 역할을 하며, DRAM 및 3D-NAND에 적용되는 전공정을 마친 웨이퍼를 셀 단위로 전수 검사함. 매출구성은 반도체 부문 81%, 전지전자부속품 19%로 이루어져 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 19.7% 감소, 영업이익은 34.7% 감소, 당기순이익은 43.5% 감소. 전방산업인 반도체 산업의 다운턴으로 인해서 추가 공급계약 축소됨. 3분기에도 삼성전자와 292억원 규모의 반도체 검사장비 공급 계약을 체결함. 평택 P3 증설 완료로 인해서 추가 수주는 기대됨. 두 차례의 자기 주식 취득으로 지속적 주가 제고 의지 표출함.

 

에이피티씨

반도체 온도조절장비(칠러) 제조사.

• 동사는 반도체 제조 공정 중 식각 공정에 필요한 장비를 제조, 판매하는 식각 장비 업체로서 2018년 코스닥시장에 상장함. 주력 제품은 300mm 실리콘 식각 장비(Poly Etcher) 등이 있으며, 동사가 보유한 플라스마 소스(Plasma Source)는 현재 300mm 웨이퍼용 반도체 건식 식각 장비의 원천 기술에 적용됨. 2020년부터 300mm 금속막 식각장비(Metal Etcher)를 SK하이닉스에 양산 판매함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 14.5% 감소, 영업이익은 20.8% 감소, 당기순이익은 12.2% 감소. 3D NAND 도입에 따른 식각 장비 수요 증가와 고객사 내 낮은 국산화 비율, 동사의 기술력을 고려할 시 점유율 확대가 예상됨. 본격적인 해외 영업을 위해 2019년 10월 미국 현지 법인 설립, 납품 장비의 신속한 서비스 대응을 위해 2021년 7월 중국 현지법인을 설립함.

엘오티베큠

반도체 증착·식각공정 장비(진공펌프) 제조사.

• 동사는 2002년 3월 설립되었으며, 반도체용 건식진공펌프의 제조 및 판매, 수리 사업을 영위하고 있음. 현재 약 7개의 모델과 90여 종의 제품을 자체 개발함. 건식진공펌프는 반도체를 비롯하여 디스플레이, 태양광, 철강 및 일반산업 등의 다양한 산업분야에 주로 공급하고 있음. 2021년 투자법인인 에이치인베스트먼트와 수선보수사업을 물적분할하여 엘오티티에스를 설립함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 30.2% 증가, 영업이익은 6.2% 감소, 당기순이익은 18.4% 증가. 매출은 증가하였으나, 매출원가 및 판관비의 등의 고정비용 부담이 증가하여 영업이익이 전년동기 대비 감소. 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차 전지 산업분야 및 기타 산업분야와 연구분야 등에서 사용되는 차세대 진공펌프 개발을 진행 중에 있음.

러셀

반도체 증착 장비(화학기상증착, 물리기상증착 등)를 고객의 요구에 맞게 개조·업그레이드하여 재판매하는 반도체 리퍼비시(Refurbish) 사업 영위.

• 동사는 2006년 3월 설립되어, 반도체 장비 제조 및 판매와 생산 자동화 장비 제조 및 판매 등을 영위하고 있음. 중고 반도체 증착 장비를 고객의 요구에 맞게 개조, 업그레이드하여 재판매하는 Refurbishment & Retrofit 사업을 영위함. 동사는 반도체에 박막을 부착하는 증착 장비에 특화된 반도체 중고 장비 업체로 업체 인지도 및 기술력, 가격 경쟁력 등에서 주목받고 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 37.2% 감소, 영업이익은 10.7% 감소, 당기순이익은 28.8% 증가. 리퍼비시 사업의 장비 매입 가격 하락 및 인력 효율화, 러셀로보틱스의 AGV 생산량 확대 및 ASP Mix 개선에 따른 비용 효율화를 통한 수익성 개선됨. 무인자동화시스템의 견조한 실적 성장세와 달리 반도체 장비의 경우 고객사 발주 지연으로 실적 감소함.

HPSP

고압 어닐링 장비 전문기업으로, 고압수소를 활용하여 반도체의 성능을 개선하는 전공정 장비 개발·생산. 주요 고객사는 글로벌 주요 시스템반도체 제조사, 메모리 반도체 상위 업체 등.

• 동사는 2017년 3월 14일에 설립되어 고압열처리용 반도체 장비제조를 주요 사업으로 영위하고 있으며, 2017년 4월 풍산으로부터 장비사업부문을 양수함. 동사가 보유한 고압 수소 어닐링 기술을 통하여 글로벌 시스템반도체 및 메모리 반도체 기업에 반도체 전공정 중 고압열처리 공정에 필요한 고압 중수소/수소 열처리장비를 판매하고 있음. 2022년 7월 15일 코스닥시장에 신규상장함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 별도기준 매출액은 144.9% 증가, 영업이익은 194% 증가, 당기순이익은 218.8% 증가. 동사의 고압 열처리 장비는 국내 최초로 고압 수소 열처리 효과가 검증된 전공정 장비로 양산체제가 아닌 주문생산에 의하고 있음. 동사의 반도체 고압 열처리 장비 부분의 경우 독점적 지위를 누리고 있으며, 전 세계적으로 유일하게 고압 어닐링 설루션을 보유하여 꾸준한 외형성장이 기대됨.

주성엔지니어링

반도체 증착장비(CVD) 제조사.

• 동사는 1993년 4월 13일에 설립되어 1999년 12월 22일에 코스닥에 상장됨. 동사는 종속회사를 통해 관련장비의 해외판매 및 서비스 업무 등을 수행하며, 다수 공정 중에서도 증착공정에 필요한 장비를 제조하여 고객사에 주 납품하고 있음. 동사의 반도체 전공정 장비인 ALD의 경우 2021년 기준 세계 시장 점유율은 약 11%, 대형 디스플레이 Oxide TFT 장비(8G~10.5G)의 경우 약 42% 이상임.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 40.3% 증가, 영업이익은 84.8% 증가, 당기순이익은 59% 증가. 반도체 ALD 수요 증가 및 고객 다변화 등에 따라 실적이 향상되었으며, 경영혁신을 통한 원가절감으로 수익성을 극대화함. 세계 최초로 Oxide TFT 용 TSD CVD(ALD) 장비를 개발함. 차세대 디스플레이 Oxide TFT 시장에서 경쟁우위를 차지하여 미래 성장동력으로 자리매김할 예정.

에스티아이

반도체 증착·식각공정 장비(가스주입장비) 제조사.

• 1997년 7월에 설립됨. 지배기업의 주요 제품으로는 Chemical 중앙공급 System, 세정 및 Etching 장비, 검사장비 등이 있음. 동사가 개발한 반도체 패키징 공정장비 '무연납 진공 리플로우장비'는 현재 미국업체가 독점하고 있는 시장임. 고도의 기술력이 집약된 장비로서 지속적인 연구개발을 통해 장비 개발에 성공하였고, 매출처 확보를 위해 끊임없이 노력해 왔으며 그 결과 최근 중국 진출에 성공하였음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 75.1% 증가, 영업이익은 134.3% 증가, 당기순이익은 142.8% 증가. 원자재 수출 부문을 제외한 모든 사업부문이 고루 성장하여 매출이 크게 증가함. 특히 Wet System 사업부문은 224% 성장하였음. 미국 내 영업을 강화하기 위해 STI AD USA를 2022년 9월에 설립하여 연결회사에 편입시킴.

테스

반도체 증착(Deposition)·식각(Etching) 공정 메인장비 제조사.

• 동사는 반도체 제조에 필요한 전공정 장비(PECVD, LPCVD, Gas Phase Etch&Cleaning 등)의 제조를 주된 사업으로 영위함. 2013년 반도체 전공정 장비인 LPCVD와 PECVD의 양산에 성공하였고, 비정질탄소막을 증착하여 신규 PECVD는 반도체 3D NAND 공정에 적용함. 주요 매출 구성은 반도체 장비(PECVD, GPE)와 디스플레이 장비(UVC LED 장비 등)로 87.10% 이루어짐.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 9.7% 감소, 영업이익은 23.1% 감소, 당기순이익은 25.7% 감소. 장기적으로는 5G, 사물인터넷 (IoT) 등 IT산업의 발달로 반도체에 대한 수요는 지속적으로 증가될 것으로 전망하며, 이에 따라 반도체 장비산업 역시 성장할 것으로 예상함. 동사는 주요 고객사의 설비투자에 따른 장비납품 등을 통해 2022년 3분기 연결기준으로 2,826억 원의 매출을 달성함.

피에스케이홀딩스

반도체 증착장비(CVD) 제조사.

• 동사는 1990년 6월 11일에 설립되었으며, 1997년 1월 7일 KRX 코스닥시장에 상장하였음. 2019년 4월 1일에 존속회사, 신설회사로 인적분할하고 존속법인은 피에스케이홀딩스로 신설법인은 피에스케이로 사명을 정하였음. 2020년 2월 1일에 피에스케이홀딩스(평택소재, 비상장)와 합병하였음. 반도체 제조장비, 플랫패널 디스플레이 제조장비 및 관련 제품의 제조, 판매, 배포 등의 사업을 영위함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 14.1% 감소, 영업이익은 26.2% 감소, 당기순이익은 33.3% 감소. 전년동기대비 반도체 공정장비 류의 수출액 감소가 매출액 감소로 이어져 영업이익, 당기순이익 등 수익성이 악화됨. 반도체 패키징업체들의 생산기술 발전에 따른 Fan-out 기술 등 패키징 기술의 발전에 대응하고 생산성을 확대하기 위한 연구 개발을 지속하고 있음.

뉴파워프라즈마

반도체 식각공정 장비(플라스마전원발생기) 제조사.

• 반도체, 디스플레이 산업의 박막공정 및 식각공정 장비에서 사용 중인 Remote Plasma Generator와 Plasma 발생 전원 공급 모듈을 제조하는 최고의 핵심 부품 공급 업체. 삼성전자와 SK 하이닉스에 공급하는 장비 회사에 동사의 제품을 공급, 디스플레이 부분은 대용량 RPG 및 RF 전원장치 모듈 제품을 국내 End User에 공급. 대한민국 우주개발의 일익을 담당하여 그 기술력 또한 전 세계적으로 인정받고 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 13.2% 증가, 영업이익은 43% 감소, 당기순이익은 39.5% 증가. 원가율 상승, 경상 연구 개발비 증가로 영업이익이 감소했으나, 매각예정비유동자산 매각으로 인한 처분이익 취득으로 기타 수익이 크게 늘어 당기순이익이 증가함. 자회사인 한국파이버의 방위산업 참여로 타 산업 대비 안정적인 매출을 실현하고 있으며 R&D 투자 확대를 통해 글로벌 품질 경쟁력 제고에 노력하고 있음.

GST

반도체 가스정화장비(스크러버)와 온도조절장비(칠러) 제조 시.

• 반도체 및 디스플레이의 제조공정에서 사용 후 배출되는 유해가스를 정화하는 가스정화장비인 Scrubber와 안정적인 온도를 유지하여 공정효율을 개선하는 온도조절 장비인 Chiller를 제조하고 있음. 디스플레이 제조공정에서 발생되는 Acid 및 VOC(휘발성 유기화합물) 가스를 처리하는 VOC농축장비도 제조함. 2021년 12월 말 현재 연결대상 종속회사는 이에스티, 로보케어 등 국내외 10개사임.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 5.3% 증가, 영업이익은 22.1% 증가, 당기순이익은 29.1% 증가. 정부의 2050 탄소중립 정책 등에 따라 온실가스배출 감소, 에너지 고효율 제품도입 등 기후변화와 친환경 대응을 위해 Scrubber에 대한 관심 증가가 전망됨. IT소비재가전, 자율주행차량, 빅데이터 관련 산업으로 대표되는 미래형 산업규모확대로 앞으로도 전반적인 반도체 시장의 성장은 지속될 것으로 전망됨.

지앤비에스엔지니어링

반도체·디스플레이 등의 생산공정 내 발생하는 유해가스 및 분진을 정화하는 스크러버, 파우더 트랩 등을 제조하는 친환경 장비 제조업체. 주요 고객사는 SK하이닉스, 인텔, SMIC 등.

• 동사는 2007년 반도체, 디스플레이, 태양광, LED제조공정에서 발생하는 PFCs를 포함한 유해 가스를 처리하는 장치인 스크러버 시장에 진출함. 진출 후에는 삼성디스플레이 및 삼성전자 LED 사업부, SK하이닉스에 플라스마 스크러버와 하이브리드 무폐수 스크러버 등을 개발하여 검증 및 납품함. LNG복합화력발전소와 열병합발전소에서 발생되는 백연을 제거하기 위해 플라즈마 기술을 이용한 냉각탑 백연 제거 설비를 개발 및 실증함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 별도기준 매출액은 32.5% 증가, 영업이익은 59.1% 증가, 당기순이익은 42% 증가. 동사의 주력 품목인 무폐수 스크러버는 독일 파트너사 CS CLEAN SOLUTIONS와 협업 및 프로젝트에 수주 관련 협의 중이며 연내 가시적인 성과 기대. 동사의 신규 사업으로, 포항산업과학연구원(RIST)과 NDA 및 기술이전계약을 체결했으며 제품의 완성도를 통한 상용화 및 데모 진행을 통한 납품 협상 중.

디바이스이엔지

반도체 세정공정 장비(오염제거장비) 제조사.

• 동사는 반도체와 디스플레이 장비 제조 및 판매를 목적으로 2002년 설립되었으며, 2017년 코스닥시장에 상장함. 동사는 세정공정의 핵심기술인 오염제어기술을 기반으로 메모리와 비메모리 반도체제조공정과 Rigid와 Flexible OLED 디스플레이에 사용되는 오염제거장비를 공급함. 사업 다각화의 일환으로 반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 소재와 부품 판매사업도 추진함.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 48.2% 감소, 영업이익은 61.9% 감소, 당기순이익은 60% 감소. 동사의 2022년 당반기 매출 중 99.89%는 오염제어 장비에서 0.11%는 소재부품 외에서 이루어지고 있으며, 판매 비중이 특정 고객사에 치우쳐 지진 않음. 최근 사업 다각화의 일환으로 반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 소재와 부품 판매사업도 추진하고 있음.

케이씨텍

반도체 연마(CMP) 장비 제조사.

• 동사는 2017년 케이씨로부터 인적분할로 설립되어 반도체, 디스플레이 장비 및 소재 사업 부분을 영위함. 반도체 전공정 장비 및 소모성 재료의 제조 및 판매를 주력사업으로 영위하고 있으며, 반도체 CMP, 세정장비/디스플레이 Wet-station 및 Coater 장비, 반도체 Slurry 등 라인업을 갖추고 있음. 매출구성은 반도체부문 77%, 디스플레이부문 22% 등으로 이루어져 있음.
• 2022년 9월 전년동기 대비 별도기준 매출액은 20.6% 증가, 영업이익은 58% 증가, 당기순이익은 78.2% 증가. 기존에 주력인 반도체 장비, 디스플레이 장비에서 반도체 소재 부분의 매출 상승이 실적 견인. 삼성전자 P2 납입 장비와 이연 된 매출이 반영되며 매출이 증가하였으나 평택 P3 현장 지연으로 인해 매출증가 제한적. 파운더리 시장으로 다각화 진행 중.

씨앤지하이테크

반도체 화학약품 중앙공급장비(CCSS) 제조사.

• 동사는 2002년 7월 설립되어 반도체, 디스플레이 제조 공정에 필요한 화학 약품을 최종 양산 설비에 공급하는 장치인 CCSS(Central Chemical Supply System)를 주요 제품으로 생산함. 라이닝시트 제조 사업, Cu/AlN 방열기판 사업, 베이킹소다 제조 사업 등 신규사업을 추진 중에 있음. 매출은 제품(화약약품 혼합장치/재생장치) 55%, 불소수지 12% 등으로 구성됨.
• 2022년 9월 전년동기 대비 연결기준 매출액은 120.4% 증가, 영업이익은 512.9% 증가, 당기순이익은 149.8% 증가. 전방산업인 삼성전자의 반도체 공장 증설과 신사업 분야의 매출이 본격화되어가면서 매출 증대. 삼성전자의 P4~P6 공장 추가 건설에 따른 수혜 가능성 존재. 불소수지 분야에서 매출 증가. Cu/AlN 방열기판 사업은 양산 공정을 개발.